표면및표면변형프로파일러_Alphastep 시스템 구성 1)베이스 시스템 - 매뉴얼 x/y stage, 4인치 이동영역 - 스타일러스 포스: 1~15mg with LIS 3 sensor - 고해상도 컬러 카메라 - 55mm scan 범위 optical 플랫 scan 블록(초정밀 플랫 글래스 블록) - 단차 측정 반복도: 4A, 1sigma on steps <1um 2)2um or 12.5um 스타일러스 팁 3)윈도우 10~64비트 데스크탑 컴퓨터 4)23 평면 모니터 5)장비 커버 6)표준시편:940nm 단차 7)진동방지테이블 사양 1)측정 방법: 2차원 표면 측정 (LVDT, Linear Variable Differential Transformer) 2)스타일러스 팁 사이즈: 2um 또는 12.5um 중 택 1 3)단차 측정 반복도: 4A(1sigma on step <1um) 4)단일 scan length: 55mm 5)스타일러스 sensor: Low Inertia Sensor (LIS 3) 6)데이터 포인트: 최대 120000개 7)수직 분해능: Max. 1A(at 6.55um range) 8)스트레스 분석: 박막의 tensile&compressive stress 측정 분석 가능 9)소프트웨어 기능 -Step Detection: 자동으로 trace를 검색하고 레벨링하여 단차 측정 -데이터베이스 소프트웨어: 여러 개의 검사 결과 비교 -분석 매개변수: V-매개변수, P-매개변수, 단차, 스트레스 -데이터 필터: 데이터 분석기는 가우스 회귀를 포함한 모든 응용 필터 적용 가능 10)스타일러스 포스(측정 시 압력):1~15mg with LIS 3 sensor 11)sample x/y stage: 매뉴얼 100mm(4인치), 수동 기울기 조절 12)수직 측정 범위: 1mm(0.039인치) 13)표준 시편: 단차 표준시편 940nm 14)측정 영역: 100mm X 100mm 15)Thickness: 최대 50mm(2인치)
용도및기능 : 표면 단차의 미세한 변화를 감지하여 단차의 두께, 폭, 거칠기 및 응력 등을 측정시스템 구성
오퍼레이터 : 송지희 E-mail: hojak1234@naver.com
공초점레이저주사현미경_Confocal Laser Scanning Microscopy 크기 및 중량 - 스테이지 가동 범위 : 100 x 100 nm - 측정부 : 약 13 kg - 받침대 : 약 19.5 kg - 컨트롤러부 : 약 3 kg 상세 스펙 - 포커스 바리에이션 : X5, X10 - 레이저 공초점 : X10, X20, X50 - 백색간섭 : X10 - 레이저 광원 파장 : 반도체 레이저 404 nm - 레이저 최대 출력 : 0.9 mW - 레이저 등급 : 2등급 레이저 제품(KS C IEC60825-1) - 레이저 수광 소자 : 16 bit 센싱 포토멀티플라이어 - 백색 광원 : 백색 LED - 백색광 수광 소자 : 초고해상도 컬러 CMOS
용도및기능 : 광학적 분석, 레이저 주사, 백색 간섭을 활용한 샘플의 표면 형상 및 거칠기 특성 분석
오퍼레이터 : 정경호 jgh8846@pusan.ac.kr
적외선원자현미경:AFM 1) AFM 스테이지 / 헤드 / 스캐너 - 최대 샘플 사이즈 : 200mm x 200mm (두께 : 최대 20mm) - 샘플 이동거리(XY) : 최대 200mm x 200mm (고정밀 모터 스테이지) - 최대 100㎛ 수평(XY) 스캐너 : Closed-loop Feedback 제어 * 수평(XY) 측정영역 : 최대 100㎛ x 100㎛ - 분리형 수직(Z) 스캐너 * 수직(Z) 측정 영역 : 최대 15㎛ - 분리형 수직(Z) 스테이지 이동 : 20 ~ 25mm - 공진주파수 : 9kHz - 캔틸레버 변형의 검출 방식 : SLD (Super Luminescent Diode) 이용 * 파장 : 830nm (Coherent Length : 50㎛ 미만) - 캔틸레버 진동 주파수 : 최대 3MHz - 측정 Resolution : 0.01nm 이하 - SPM 측정 기능 : Contact AFM, Dynamic Contact AFM, True Non-contact AFM, LFM, Phase Imaging, Force vs. Distance curve, FMM, FVM, Nanoindentation, MFM, EFM, DC-EFM, KPFM, PFM, Conductive AFM, I/V Spectroscopy, PiFM 3) 대면적측정을 위한 Step-and-Scan 기능 4) 나노 적외선 분광기 장착 플랫폼. 5) 소프트웨어(데이터 수집/분석) 6) 이중 액티브 진동차단 시스템과 일체형 차폐장치.
용도및기능 : 나노미터 스케일의 적외선-원자현미경의 본체로서, 대면적 시료측정이 가능하며 다양한 SPM 측정이 현미경 팁 또는 모듈 장착만으로 가능함.
오퍼레이터 : 조인화 연구교수 ihcho@pusan.ac.kr
형광분광분석기_Spectrofluorometer 크기 및 중량 - 광원 : 150W 오존-프리 제논 아크 램프 - 스펙트럼 적용 범위 (여기) : <230nm ~ 1000nm - 스펙트럼 적용 범위 (방출) : 200nm ~ >870nm - 대역 필터 (여기/방출) : 0 ~ 30nm - 파장 정확도 : 여기/방출 ± 0.5 nm - 스캔 속도 : 100nm/s - 노출 시간 : 1ms ~ 200s - 치수 : 104cm x 59cm x 32cm - 무게 : 55kg
용도및기능 : 반도체의 광학적 특성 및 조성,?불순물의 종류와 농도,?결정성, 샘플의 전자 구조적 특성 및 결함,?발광 특성, 계면의 특성,?절연체 내 이온의 내부 복사전이 여부 등 측정
오퍼레이터 : 한승부 tmdqn9449@gmail.com
Transient absorption spectroscopy 1) 광원 : (1)150와트 제논 램프 - 지속시간 : 0.2ms~6ms , 최대 100A 펄스 생성 (2)50와트 할로겐 램프 2) 방출 분광기: - 체르니 터너방식의 분광기로 초점거리 325mm - 회절 격자 : 1800 grooves/mm, 500 nm blaze - 감광도 : 0.005 델타오디 ( 단일 샷, 느린 감지기 ) 3) 광증 배관 검출기 : PMT 980 - 검출기 응답 폭 : 5ns / - 파장 범위 : 200nm~980nm 4) 200MHz 오실로 스코프 - 샘플링 속도: 2.5GS/s / 아날로그 대역폭: 200MHz 5) 펄스드 Nd:YAG 레이저 :6~8ns pulse - 1064nm(130mJ/pulse,) 532nm(65mJ/pulse) 355nm(25mJ/pulse) 6) 샘플홀더 (1) 크로스빔 샘플 홀더 - 10mm 큐벳길이 / 높이 16mm (2) 레이저유도형광 샘플 홀더 (3) 난반사 측정 시료홀더 (4) 일자형 선형 광학경로 (5) 필름시료홀더
용도및기능 : 전하의 수명 및 non-radiative charge carrier/ free charge carrier 의 양 및 그의 특성을 파악할 수 있는 장비
오퍼레이터 : 조인화 연구교수 ihcho@pusan.ac.kr
AFM modules
용도및기능 : 원자현미경을 이용한 시료 표면 측정 시, 국소 영역의 전류 등 전기 특성 동시 측정을 위한 NX 용 모듈 과 시료 표면의 온도를 가변하여 온도에 따른 AFM 이미지 측정이 가능한
오퍼레이터 : 조인화 연구교수 ihcho@pusan.ac.kr
초음파/광초음파 영상 검사장비_Ultrasound/Photoacoustic Imaging System for Semiconductor Inspection
용도및기능 : 광음향효과 기반 영상 획득 장치
오퍼레이터 : 송유온 yuonsong@pusan.ac.kr
초음파 송수신장비_Ultrasound Pulser/receiver
용도및기능 : 미세음향분석/얇은코팅의두께측정
오퍼레이터 : 송유온 yuonsong@pusan.ac.kr
플라즈마 원자층 증착기_Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition(PEALD) Uniformity : ≤±2% (Within 25point EE15mm) ≤±1% (Wafer to Wafer), Cycle Time : ≤10sec/Cycle Growth Per Cycle : ≤1.2?/Cycle Deposition Rate : ≥ 7?/min (Ref, Al2O3) Plasma Power Source : RF 13.56MHz, CCP Type, 600W Process Pressure : 0.5~2 Torr Substrate Temperature : Max. 400℃, ≤±1% (On Set Temp.)
용도및기능 : 원자층을 하나씩 쌓기 때문에 원하는 사이즈 만큼 증착이 가능 페로브스카이트 태양전지에 ETL, HTL 또는 Buffer layer 증착할 때 사용
오퍼레이터 : 최경천 ckc9611@pusan.ac.kr
홀효과 측정 장비_Hall effect measurement system 모든 장비는 예약 후 승인절차를 거친 후 사용가능합니다.
용도및기능 : 홀효과 측정
오퍼레이터 : 김민석 minseok990@naver.com
자외선가시광선분광기_UV-VIS spectrometer UV-VIS spectrometer Detector Range: 200-1100 nm Detector: Sony ILX511B linear silicon CCD-array Pixels: 2048 pixels Pixel Size: 14 μm x 200 μm Sensitivity: 75 photons/count at 400 nm; 41 photons/count at 600nm
용도및기능 : 자외선가시광선스펙트럼측정
오퍼레이터 : 김지희 교수 kimjihee@pusan.ac.kr
근적외선분광기_NIR Spectrometer NIR Spectrometer NIR Measurements in the 900-1700nm range Spectral resolution down to 1nm for certain models Miniature size 5x3x2″ with rugged, compact design Integrated thermo electric cooler set to operate at -15 deg C Complete Software Development and Integrated Chemometrics options For NIR portable and OEM applications
용도및기능 : 근적외선스펙트럼측정
오퍼레이터 : 김지희 교수 kimjihee@pusan.ac.kr
열증착기 증착기 자동화 콘트롤러_Thermal evaporator automatic controller 크기: 41.5cm(가로)x24cm(세로)x13.5cm(높이) 중량: 2kg
용도및기능 : 시약자동증착
오퍼레이터 : 김종민 qr9631@naver.com
스퍼터 증착기 자동화 콘트롤러_Sputter evaporator automatic controller 크기: 21cm(가로)x25cm(세로)x13cm(높이) 중량: 1.5kg
용도및기능 : 시약 자동 증착
오퍼레이터 : 김종민 qr9631@naver.com
LCR meter E4980A (Keysight Technologies), 20Hz-2MHz
용도및기능 : 시약 자동 증착
오퍼레이터 : 이예지 lyj2431664@naver.com