석사과정기준 교과목
| 학기 | 이수구분 | 교과목명 | 이수학점 |
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| 1학기 | 기초 01 | 고체물리학 재료과학 유기화학 파이썬 프로그래밍 |
3 3 3 3 |
| 기초 02 | 반도체 물리전자 광학의 이해와 응용 반도체 공정 박막 공학 반도체기계 시스템 설계기초 |
3 3 3 3 3 |
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| 심화 | 반도체소자 및 계측 나노반도체소재 플라즈마 공정론 플라즈마 공학 리소그래피 반도체 광전자공학 초음파 및 광영상공학 |
3 3 3 3 3 3 |
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| 2학기 | 고급 | 광기능소개 플라즈마 공정장비 시뮬레이션 전력반도체 반도체 분석기기 반도체 표면분석 |
3 3 3 3 3 |
| 기업연계 | 산학R&D프로젝트 직장내 교육 논문연구 |
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| 총 8개 과목 24학점 | |||
나노반도체 공정·장비 계약학과